Pfeiffer Vacuum

4.4.1 设计/工作原理

两个平衡轴承支撑的相互啮合螺杆转子 (3) 具有同步相反的 螺纹并在将其仅仅围住的圆柱形壳体 (2) 内无接触地反向旋 转,所有这些一起构成一个多级泵。由于两个转子的反向网 孔,密封在每个螺纹中的容积随着转子向出口 (4) 推进。该 泵在入口 (1) 或出口处都没有阀门。当置换容积达到出口开 口处时,压力与气压平衡。这意味着环境空气流入置换容 积,然后随着转子转动再次排放。这种脉冲气流产生高水平 的耗散能量并加热泵。通过内部压缩方式可最小化耗散能 量。这种内部压缩可通过减少出口方向的螺距来实现。壳体 和转子之间的间隙以及转子之间的间隙决定了螺杆泵可实现 的极限压力。当转子与另一转啮合时产生的几何形状和间隙 配置也显著影响极限压力。

由于脉冲气流产生的耗散能量在出口侧加热泵,这个精确的 位置上需要冷却。壳体和转子之间的间隙是较热转子和冷却 的壳体之间温差造成的结果。产生的热量和温度是入口压力 范围产生的结果。在高入口压力(接近大气压)时温度最 低,因为此时几乎没有进行任何压缩工作且置换空气足以将 泵的热量输送出去。此外,高气体流量也防止气体在末级中 振荡。在极限压力 (p < 1 hPa) 下的操作过程中,大气振荡在 出口区域产生较高的温度,由于没有气体通过泵,因此没有 热量被输送到泵外。

HeptaDry 泵是干式螺杆泵,具有内部压缩。螺杆转子具有可 变螺距的对称几何形状。这些泵没有带有控制孔的端板;相 反,气体在大气压下轴向排出。由于内部压缩,脉冲气体量 较低。

这将导致耗电量降低、操作无噪音、泵内温度均匀分布以及 冷却水耗量降低。这使得这些泵极具成本效益,虽然其设计 坚固耐用。