Pfeiffer Vacuum

4.3.1 设计/工作原理

隔膜真空泵是干式正排量泵。曲轴驱动的连杆 (4) 移动在头 盖 (2) 和壳体 (3) 之间张紧的隔膜 (1)。头盖和隔膜之间的空 间形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口阀和出口阀 (6) 以实现目 标气体排量。由弹性体材料制成的压力控制断流阀用作此 阀。由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来,泵介质 不会受到油的污染,侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。出口 阀和吸入室之间的固定空间产生一个受限制的压缩比,这意 味着,只要一个抽吸阶段就可实现约 70 hPa 的极限压力。 串联连接的多个抽吸阶段使实现 0.5 hPa 的极限压力称为可 能。较低的压力无法实现,因为在这种情况下,不再有足够 的力用于打开入口阀。隔膜泵的原理特别适合于大约 10 m3· h-1的低抽速。