Pfeiffer Vacuum

4.3.3 产品组合概览

普发真的隔膜泵在其极限压力、抽速和其抽吸腐蚀性气体的 稳定性上各不相同。这类泵的抽速在 3 和 3 and 160 l · min-1 (0.25 to 9.6 m3· h-1)之间。两极泵可实现极限压力低于 4 hPa, 四级泵可实现极限压力低于 0.5 hPa。其抽速和可达到的最终 压力取决于电源频率。

具有涂层隔膜和耐腐蚀壳体的腐蚀性气体泵型号适用于抽吸 腐蚀性气体。

泵的命名选择这样的方式以用 l · min-1 表示抽速以及表示抽 吸阶段的数量。腐蚀性气体泵在其型号命名上以字母 C 作为 后缀。

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