真空技术书籍,第二版

4.3.2 应用

其无烃的吸入室使隔膜泵特别适合作为具有 Holweck涡轮分 子泵的前级泵。 甚至两级隔膜泵可实现极限压力大约为 5 hPa。对于 Holweck 涡轮分子泵的前级泵, 这已足够了。清 洁真空特别利适用于分析和研发应用。由于无气镇,隔膜泵 也不能抽出水蒸气。 即使高真空设备壁解吸的少量水蒸气也 可以使隔膜泵的极限压力急剧上升。然而,一些隔膜泵配备 了气镇阀,该阀根据专利方法操作。为此,允许气体进入两 级隔膜泵第一级和第二级之间的连接通道, 而且这通过一个 小孔与第一级的吸入室连接。

隔膜泵
型号 抽速 极限压力 应用
MVP 003-2 0.25 m³ · h-1 ≤ 7.0 hPa 小型涡轮分子泵站(使用 HiPace 10 和 HiPace 80 比较适合)、移动分析设 备、氦气检漏仪再生
MVP 006-4 0.25 m³ · h-1 ≤ 2.0 hPa 小型涡轮分子泵站(使用 HiPace 10 和 HiPace 80 比较适合)、移动分析设 备
MVP 015-2 0.5 m³ · h-1 ≤ 3.5 hPa 涡轮分子泵站、泄漏探测器、研究实验室、分析和化学应用
MVP 015-4 0.5 m³ · h-1 ≤ 0.5 hPa
MVP 030-3 1.8 m³ · h-1 ≤ 2.5 hPa
MVP 040-2 2.3 m³ · h-1 ≤ 4.0 hPa
MVP 070-3 3.8 m³ · h-1 ≤ 1.0 hPa
MVP 070-3 C 3.4 m³ · h-1 ≤ 1.5 hPa 要求无烃真空的腐蚀性气体应用

表 4.12: 隔膜泵的性能数据

如果较大量的水分聚集且使用无气镇的隔膜泵,则必须在上 游连接合适的分离器或冷阱,以防止在泵中形成大量的冷凝 物。但是极限压力将会增高。