真空技术书籍,第二版

4.3.2 应用

其无烃的吸入室使隔膜泵特别适合作为具有 Holweck 阶段的 涡轮分子泵的前级泵。甚至两极隔膜泵可实现极限压力大约 为 5 hPa。对于 Holweck 涡轮分子泵的前级泵,这已足够 了。清洁真空特别利于分析和研发应用。无气镇,隔膜泵也 不置换水蒸气。即使高真空设备壁解吸的少量水蒸气也可以 使隔膜泵的极限压力急剧上升。然而,一些隔膜泵配备了气 镇阀,该阀根据专利方法操作。为此,允许气体进入两极隔 膜泵第一级和第二级之间的连接通道,而且这通过一个小孔 与第一级的吸入室连接。

隔膜泵
型号 抽速 极限压力 应用
MVP 003-2 0.25 m³ · h-1 ≤ 7.0 hPa 小型涡轮分子泵站(使用 HiPace 10 和 HiPace 80 比较适合)、移动分析设 备、MiniTest 氦气检漏仪再生
MVP 006-4 0.25 m³ · h-1 ≤ 2.0 hPa 小型涡轮分子泵站(使用 HiPace 10 和 HiPace 80 比较适合)、移动分析设 备
MVP 015-2 0.5 m³ · h-1 ≤ 3.5 hPa 涡轮分子泵站、泄漏探测器、研究实验室、分析和化学应用
MVP 015-4 0.5 m³ · h-1 ≤ 0.5 hPa
MVP 030-3 1.8 m³ · h-1 ≤ 2.5 hPa
MVP 040-2 2.3 m³ · h-1 ≤ 4.0 hPa
MVP 070-3 3.8 m³ · h-1 ≤ 1.0 hPa
MVP 070-3 C 3.4 m³ · h-1 ≤ 1.5 hPa 要求无烃真空的腐蚀性气体应用

图 4.12: 隔膜泵的性能数据

如果较大量的水分聚集且使用无气镇的隔膜泵,则必须在上 游连接合适的分离器或冷却陷阱,以防止在泵中形成大量的 冷凝物。但是极限压力将会增高。

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