Pfeiffer Vacuum

4.3.4 配件

以下配件适用于隔膜泵:

  • 旋入式法兰和法兰适配器
  • 净化气体连接件
  • 前真空继电器箱
  • 壁电源包或标准导轨安装
  • 涡轮分子泵驱动器连接电缆
螺杆泵的工作原理

图 4.6: 螺杆泵的工作原理

HeptaDry 转子

图 4.7: HeptaDry 转子

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