Pfeiffer Vacuum

3.7 操纵器和机械馈穿件

研究和工业生产中很多真空过程需要在排空区域移动样品或 部件。这可以是三个空间轴方面的直线位置变化和绕轴旋 转,作为单个运动或运动类型相互之间的组合。

操纵器和机械馈穿件允许真空中的平移和旋转,其驱动器位 于大气侧且运动以真空密封的方式传输。根据相应的真空和 应用条件,使用几种不同的操作和传输原理。金属膜和弹簧 波纹管、特殊的弹性体密封件、磁耦合系统或差动泵密封件 可用作密封元件。

具有两个开放式法兰连接和一个开放通道的设计被称为操纵 器,在真空密封法兰中安有驱动器的部件被称为机械馈穿 件。后者的特点是紧凑设计。操纵器相互之间可以组合和扩 展。此外,机械馈穿件可与其连接,以便将各种类型的运动 传输到真空中,从而提供各种运动任务的解决方案。而且, 其他馈穿件可连接至入口法兰,例如,用于电力或流体,这 些可通过操纵器直接引导到应用中。

特别是具有较大公称通径的,操纵器的法兰由于气压承受相 当大的力。因此,法兰在真空下是稳定的,在操纵器设计过 程中,必须非常强调其固有刚性。根据外部负载和内在部件 的其他负载,特殊的设计挑战带来高精度运动传输。内置部 件必须能够经受烘烤,以确保在 UHV 范围的使用。

Page: