Pfeiffer Vacuum

3.7.2 准确性、可重复的精确度与分辨率

操纵器和机械馈穿件有很多不同的任务。它们的范围从具有 指定速度的连续直线和旋转运动到精确定位任务。运输样品 进行分析,在操作室之间移动系列产品或在其测量点移动位 置测量头—此类任务通常只需要精确度在 0.1 到 1 mm 之 间。其他定位过程需要最准确、可重复精确度仅为几微米, 或者对于扫描之类任务,最佳分辨率为 1 µm。

为了能够正确识别操纵器或机械馈穿件的选择要求,理解以 下定义以及设备性能和错误来源很重要。

准确性(精确度)描述所希望的位置和实际达到位置之间的 偏差。从一个位置开始,从刻度上人工读取或通过电机驱 动,在某个位置上结束由定义的刻度移动数或电机节距来确 定。

因此,准确性由多种因素决定。如果没有声称是完整的,这 里有一些方面需要经常考虑:刻度读数有多准确?轮移动有 多准确?电机节距分界线有多大?运动准确地遵循电机节距 吗?此外,向导和驱动器部件的特性对准确性来说是关键: 螺距误差和主轴驱动器作用有多大?与线性导引的理想前导 之间的偏差有多大?此外,附件或外部负载的空气压力导致 驱动器和导向单元变形。如果操纵器不能确保足够的稳定 性,可移动法兰在排空过程中向连接法兰倾斜。

可重复精确度描述偏差,凭借该偏差可以再次达到某个位 置。最好超过或等于精确度,因为并不是所有错误都有记 录。例如,与部件作用不一样,主轴螺距误差或前导偏差不 会产生任何影响。

分辨率描述运动的最小可能增量。螺距误差或导引精确度也 不会产生任何影响。在这里,刻度的可读性或电机的最小增 量是关键。对这个的要求是,导向和驱动单元遵循规范。例 如,如果由于部件的弹性和静态摩擦与动态摩擦之间的差 异,它涉及到滑动摩擦搭档(粘滑效应)之间的剥离,这种 影响可以决定分辨率。循环球式系统不受这种影响,并且对 于苛刻的定位任务,它们比滑动单元更可取。

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