Pfeiffer Vacuum

3.7.1.4 密封的弹性体旋转和平移

对于承受动态应力的真空适用密封件,使用特殊的弹性体密 封件,其往往由 FKM(含氟弹性体)材料制成。壳体、密封 件和驱动器轴之间限制尺寸的调整必须谨慎进行,同样也适 用于表面处理的设计与实现。

对于频繁的运动以及密封效果的增加,弹性体密封件必须在 移动接触点进行润滑,从而减少摩擦、防止过早磨损以及校 平表面上的细微不平整。当选择合适的真空润滑脂或油用于 最大操作和烘烤温度时,必须考虑其特性,特别是蒸气压。

弹性体密封件只可部分烘烤。此外,必须检查成分中含有的 润滑脂或少量的烃类是否与应用兼容。在考虑这些局限性 时,如果对真空质量上的要求不是很高,弹性体机械密封件 则可用于替代那些具有功能原理的昂贵设备。

连续驱动器轴的优势是直接连接真空侧应用,而驱动器在大 气侧。没有作用或负载相关的定位误差。根据驱动轴的尺寸 标注和安装,也可移动较大的负载。

凭借弹性体密封件,可实现旋转和直线运动以及旋转/直线同 时运动。

弹性体密封的旋转式馈通
  1. 壳体
  2. 带槽球轴承
  3. O 型圈
  4. 径向轴密封环
  5. 真空润滑脂箱

图 3.27: 弹性体密封的旋转式馈通