Pfeiffer Vacuum

3.7.1.2 波纹管密封的旋转

所谓的香蒲或摆动原理允许使用波纹管传输旋转运动,即: 在真空和大气之间使用严实密封隔离的旋转运动。 图 3.25 显示了此类馈穿件的设计。倾斜的传动轴 (1),其末 端在曲柄销 (3) 受到支撑,在真空中旋转传动轴 (4).严实密封 件包括一个不转动的波纹管密封件 (2),其执行摆动运动。驱 动和传动轴由不锈钢球轴承支撑,其上覆盖了真空适用的干 式润滑。

波纹管密封的 UHV 旋转式馈通(香蒲原理)

图 3.25: 波纹管密封的 UHV 旋转式馈通(香蒲原理)

干式润滑不仅增加使用寿命和可能的最大速度,而且防止滚 珠在高温烘烤过程中被卡住。除干式润滑外,陶瓷滚珠混合 轴承也可用于 UHV 应用。其高昂的价格使其仅适合于最高标 准的应用。另外,对于耐少量烃的高真空应用,轴承也可用 真空适用的油脂润滑。