真空技术书籍,第二版

3.7.1.2 波纹管密封的旋转

所谓的香蒲结构的摆动原理能够使用波纹管传输旋转运动, 即: 在真空和大气之间传递严实密封隔离的旋转运动。 图 3.25 显示了此类贯通件的设计。倾斜的传动轴 (1),其末 端连接在曲柄销 (3) 上,带动在真空中旋转的传动轴 (4)。严 实的密封是由只做摆动运动而不做旋转运动的波纹管密封件 (2)来实现的。主 动轴和从动轴都由不锈钢球轴承支撑,其上 覆盖了真空适用的干 式润滑层。

干式润滑不仅增加使用寿命和可行的最大速度,而且防止滚 珠在高温烘烤过程中被卡住。除干式润滑外,带有陶瓷滚珠 的混合 轴承也可用于 UHV 应用,其高昂的价格使其仅适合 于最高标 准的应用。另外,对于能够耐受少量有机物的高真 空应用,轴承也可用 真空适用的油脂润滑。

波纹管密封的 UHV 旋转式馈通(香蒲原理)

图 3.25: 波纹管密封的 UHV 旋转式馈通(香蒲原理)