Pfeiffer Vacuum

3.7.1.1 由膜片波纹管密封的平移

薄膜波纹管是由焊接在一起的单个薄片制成。凭借小的弹簧 刚度,轴向扩张是非常灵活的。波纹管确保严实密封的金属 外壳,且适合于最高的 UHV 要求。

波纹管的选择和设计是根据所需的运动任务,并考虑操作条 件:使用寿命(运动周期数)、工作温度、烘烤温度、差 压。使用材料 316L,寿命可达 50 万次运动周期,使用更有 弹性但可磁化的材料 350AM,泽尻达 1000 万次运动周期。

指定周期数内的膜片波纹管是免保养的。在其达到计算的运 动周期后,需要更换。它们不适用于有灰尘和泥土的环境。

膜片波纹管用在 Z 轴、XY 轴和 XYZ 轴精度操纵器中以及端 口对准确和波纹管旋转密封件中。

在烘烤带有膜片波纹管的装置时,重要的是确保均匀加热。 应避免加热带在膜片波纹管上。它们会导致强烈的局部加 热,因为膜片波纹管具有较低的质量和较小的热传导面积。 最好使用温度控制加热套,虽然是更加精细的选择。

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