真空技术书籍,第二版

3.7.1.1 由膜片波纹管密封的平移

薄膜波纹管是由许多单个薄片焊接在一起制成。凭借小的弹 行刚度,轴向拉伸是非常灵活的。波纹管确保严实密封的金 属外壳,且适合于最高的 UHV 要求。

波纹管的选择和设计是根据所需的运动任务,并考虑操作条 件:使用寿命(运动周期数)、工作温度、烘烤温度、压力 差。使用材料 316L,寿命可达 50 万次运动周期;使用更有 弹性但可磁化的材料 350AM,寿命高达 1000 万次运动周 期。

在指定周期数内,膜片波纹管是免保养的。在其达到计算的 运动周期后,需要更换。它们不适用于有灰尘和泥土的环 境。

膜片波纹管用在 Z 轴、XY 轴和 XYZ 轴的高精度操纵器中, 以及端口校准和波纹管旋转密封件中。

在烘烤带有膜片波纹管的装置时,重要的是确保均匀加热。 应避免加热带直接放在膜片波纹管上。它们会导致强烈的局 部加 热,因为膜片波纹管具有较低的质量和较小的热传导面 积。最好使用温度控制加热套,虽然是更加精细的选择。