Pfeiffer Vacuum

3.7.1.3 磁耦合旋转和平移

磁耦合用于严实旋转或线性密封件。其包括一个位于外部的 永磁体阵列,其驱动转子,也配备了可在真空中旋转/移动的 磁铁。两个部件通过薄壁管相互之间完全真空密封。内外转 子磁铁之间的距离应该尽可能小,以便其之间的耦合里尽可 能的大。内部转子连接至要移动的应用,外部磁转子手动移 动或通过电机驱动。内部轴承用适用于真空的干式润滑进行 润滑。

通常情况下,由金属制成的高性能磁铁用于稀土,如钐钴磁 铁。它们确保可能的最高耦合强度,同时具有优异的耐高温 性,如它们发生在烘烤过程中。此类磁耦合系统适合于 UHV 应用。即使磁场大部分被屏蔽,磁场线的分散是无法完全避 免的。因此,用户必须检查其应用是否足以抵抗残余磁场。

凭借磁耦合系统,可实现旋转和直线运动以及旋转/直线同时 运动。可传输的位移力和扭矩受到磁铁数量及其排列的限 制。所能达到的精度取决于要移动物质的质量。磁场充当两 个耦合搭档之间的弹簧。外力和扭矩越高,内外转子之间的 位置偏差越大。与最大允许值相比,如果外力和力矩比较 低,则可精确地传输运动。

磁耦合的 UHV 旋转式馈通
  1. 磁性内转子电机
  2. 磁性外转子电机
  3. 真空壳体

图 3.26: 磁耦合的 UHV 旋转式馈通