真空技术书籍,第二版

3.7.1.5 通过带抽吸间隙的滑动垫片进行旋转

制造具有自由通道和法兰且彼此可自由旋转的操纵器的唯一 方法是用滑动垫片。由于滑动垫片单独不能提供 UHV 密封 隔离,所以将多个垫片进行串联排列,并对中间间隙抽真 空。通常是三个特殊的 PTFE 滑动垫片串联成一组安装。对 于第一个间隙,用一个前级泵就够了。如果内部要求UHV 条 件,需要用额外的中间抽空,并将高 真空泵与其连接。