Pfeiffer Vacuum

3.7.1.5 通过带抽吸间隙的滑动垫片进行旋转

制造具有自由通道和法兰且彼此可自由旋转的操纵器的唯一 方法是用水滑动垫片。由于滑动垫片单独不能提供 UHV 密封 隔离,所以将多个进行串联并排空间隙。通常三个特殊的 PTFE 滑动垫片串联安装。对于个间隙,一个前级泵就够 了。如果内部 UHV 条件占主导地位,需要额外的间抽,而高 真空泵将与其连接。

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