真空技术书籍,第二版

3.7.3.2 XY 轴精密操纵器的设计特点

XY 轴精密操纵器的设计特点是非常稳定的设计,这代表重 量、尺寸和稳定性之间的平衡。其承重基本结构是抗扭的且 是由铝合金制成的,其表面进行阳极氧化,从而得到持久的 保护。

精密交叉滚动轴承导轨保证了使用寿命与最大精确度。两个 轴通过带有大驱动鼓的微米螺丝钉手动制动。它具有非常好 的刻度可读性,确保设置简单且符合人体工程学设计,从而 产生高分辨率。

围绕波纹管单元的间隙允许装配加热套,从而能对其进行均 匀的加热。而且,波纹管单元易于更换,因此在配置的周期 数已用尽后,可进行更换。

轴精密操纵器

图 3.29: 轴精密操纵器

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