真空技术书籍,第二版

3.7.3.1 Z 轴精密操纵器的设计特点

与传统的梯形和公制螺丝驱动器或滑动导轨相比,具有轴驱 动器和导向的循环球(滚珠丝杠)系统的使用具有几个显著 的优势。由于其摩擦小,循环球系统具有高效率,且其较大 的公称通径特 别有利。尽管外部负载高(如真空状态下的压 力差),它们允许用适度的操作力轻松进行行程调整。先前 描述的粘滑效应不存在了,因此,可提供非常精细的分辨 率,且不会出现很大的启 动转矩,启动转矩使得操作更困难 且尤其对电机驱动器具有不利影响。这样也没有必要设置连 接电机的减速齿轮了。另一个优势是非 常低的磨损水平,在 不产生油脂污染的洁净环中,通过高品质、长期高温润滑脂 的初始润滑将几乎可以无限期地持 续下去,并无需保养。

耐弯曲导向体对精确度有很大影响。选择不锈钢制成的稳定U 型结构具有更大的刚性、用料更少重量更轻。在 U 型内部, 导轨被螺丝固定在背板上。与无法得到支撑、自由运行的轴 导向相比,型轨具有低变形结构,甚至在重负载 下,在全行程范围内,实现符合所有空间轴的精确调整。

波纹管单元通常是为充分利用行程 10,000 次而设计的。波纹 管的互换性确保仍然可以使用高品质导向和驱动机构的操纵 器。

Z 轴精密操纵器

图 3.28: Z 轴精密操纵器