Pfeiffer Vacuum

3.7.3.1 Z 轴精密操纵器的设计特点

与传统的梯形和公制螺丝驱动器或滑动导引相比,具有轴驱 动器和导向的循环球系统的使用具有几个显著的优势。由于 其摩擦小,循环球系统具有高效率,且其较大的公称通径特 别有利。尽管外部负载高(如真空状态下的压力差),它们 允许用适度的操作力轻松进行行程调整。先前描述的粘滑效 应不存在了,因此,可提供非常精细的分辨率且不会出现起 动转矩,这使得操作更困难且尤其对电机驱动器具有不利影 响。在这里没有必要减少支持电机的齿轮。另一个优势是非 常低的磨损水平。在不产生油脂污染的洁净环中,通过高品 质、长期高温润滑脂润滑的原始润滑将几乎可以无限期地持 续下去,并无需保养。

耐弯曲导向体对精确度有很大影响。选择不锈钢制成的稳定 U 型产生更大的刚性、低物料投入以及相关的重量。在 U 型 内部,导轨被拧入坚固的后面板内。与无法得到支撑、自由 运行的轴导向相比,型轨具有低变形结构,甚至在重负载 下,在全行程范围内,实现符合所有空间轴的精确调整。

波纹管单元通常是为充分利用行程 10,000 次而设计的。波纹 管的互换性确保仍然可以使用高品质导向和驱动机构的操纵 器。

Z 轴精密操纵器

图 3.28: Z 轴精密操纵器

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