Pfeiffer Vacuum

3.1 概述

真空系统包括各种不同的部件,如腔室、泵、测量仪器、部 件、阀、馈穿件、操纵器,这些部件必须连接在一起,形成 一个装置。配备有密封件的可拆卸部件与不可拆卸部件是有 区别的。以下章节描述了真空技术中使用的材料、不同类型 的连接以及机械部件。表述了设计和选择过程中的注意事 项。

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