Pfeiffer Vacuum

3.3.2.5 COF 法兰

COF 法兰用于超高真空兼容连接中的大公称通径。它们可烘 烤,适合压力高达约 1 · 10-12 hPa,且是非标准化的,因此 与其他品牌法兰结合时,必须测试其兼容性。它们通常由含 碳量低的不锈钢制成,如可能,为锻造质量。

COF 连接包括一对不同外形(公、母)的法兰,一个线型密 封件和足够数量的螺丝钉,这提供所需的高接触压力(图 3-16)。法兰可围绕主孔轴与钻孔间距对准。从无氧铜 OF( 无氧)焊接的钢丝圈用作密封材料。

具有铜线和螺丝钉的 COF 连接

图 3.16: 具有铜线和螺丝钉的 COF 连接

在装配过程中,将密封件紧紧插入“公”测的切口。两种型材的 密封面将铜环包围。在切口上发生挤压。冷气流受到“公”法兰 垂直内壁的限制,因此在边界层产生非常高的压力。在高压 下,微观结构的铜调整到切口并填补小的表面瑕疵,由此产 生金属超高真空密封连接。以前用的铜线不能重复使用。对 于压力高达约 1 · 10-8 hPa,可以使用 FKM 制成的密封件。 它们通常不能重复使用,但可以进行快速安装例如,如果频 繁安装法兰,如在系统找平时。

在安装过程中,最初要完全均匀的对螺丝钉进行紧固,以避 免任何张力,这很重要。接着,应按顺序对螺丝钉进行紧 固,若干步骤后,一步一步,直到将铜以超高真空密封方式 连接到密封面。烘烤时,必须确保加热和冷却平稳,不要太 快。法兰连接上的温差将导致产生张力,可能引发泄漏。