Pfeiffer Vacuum

3.5.2 多重视窗

视镜主要用于观察真空室的内部,包括过程。因此,一般使 用和安装硼硅酸盐玻璃相应的厚度,使弹性体密封件进入视 线法兰(ISO-KF、ISO-K 和 ISO-F 多重视窗)中。对于 UHV 应用和高温,玻璃金属化并与焊唇焊接(熔凝石英或蓝 宝石玻璃)或熔化(Kodial 玻璃)以补偿热膨胀。它们被焊 接和严实密封到视线法兰的焊唇上。为使张力最小化,CF 多重视窗应仅装有退火铜密封件。此外,加热和冷却必须平 稳,不应太快。

如果多重视窗也用作电磁波的传输,其传输范围和光学质量 必须予以考虑。一英寸和两英寸视镜带 FKM 垫片的玻璃架允 许在真空法兰中安装光学眼镜。多重视窗门防止或减少对视 窗的污染,例如在涂层过程中。

带玻璃-金属熔合的 CF 多重视窗

图 3.19: 带玻璃-金属熔合的 CF 多重视窗

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