Pfeiffer Vacuum

3.6 阀

除真空技术典型的切断元件和在设计产品中必须考虑的一般 技术要求外,真空系统中的阀还受到特殊要求的约束。

在配置和选择真空阀时,必须考虑最小的置换最终压力和分 子流范围内成分的高流动性。此外,阀体和阀座要求最小的 泄漏率。阀中移动部件真空侧的润滑剂必须适合于所需的压 力和温度范围,或者避免整体在高或超高真空中(如可能) 。最小封闭空间和高电导率很重要,特别是在分子流范围 内。

机械驱动元件的馈穿件必须以满足有关气密性以及压力和温 度范围要求的方式设计。根据质量,弹性体密封馈穿件(如 轴封)可用于压力范围大于 1 · 10-4 hPa的较低真空要求。 而薄膜或弹簧波纹管用于小于 1 · 10-4 hPa的压力范围。此 外,如果适当设计的话,用金属波纹管密封的阀可以烘烤。 带有弹性体密封壳体、板或法兰的阀用于高达 1 · 10-8 hPa 的压力。安装通常在封闭条件下以气压作用于阀板的方式进 行,从而增加闭合力。

全金属阀,其中所有密封件由金属制成,适合于 UHV 应用和 较高的烘烤温度,但是它们经常需要较高的闭合力以进行密 封。软金属(铜或特殊合金)用作密封材料。除闭合力较高 外,还必须考虑到密封件的使用寿命较短。

在真空技术领域中有各种不同类型的阀用于不同的应用;这 些阀以其设计或功能命名。