Pfeiffer Vacuum

3.6.6 气体计量阀和气体控制阀

气体计量阀用于限定气体流量进入真空的入口,例如,维持 或设置一定的压力。它们通常按照针型阀原理工作。通过转 动主轴,间隙被释放,且该开口和长度提供流导。气体流量 取决于主轴旋转并以特性曲线表示。阀位置可从刻度上读取 并可重复设置。

气体控制阀为电动可控计量或比例阀,其中阀开口尺寸随施 加的线圈电流的增加而不断增大,直到达到最大开口。与线 圈电流有关的体积流量在特性曲线上显示。控制阀通过控制 单元进行操作或直接通过外部控制器进行操作。它们用于压 力或流量控制的自动化过程。

对于 UHV 条件下的低流量,例如,用于质谱仪应用,有可烘 烤的全金属气体计量和气体控制阀,它们用陶瓷板密封在金 属座上。

UHV 全金属气体计量阀

图 3.24: UHV 全金属气体计量阀

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