Pfeiffer Vacuum

3.6.2 角阀

角阀的特点是高气密性、坚固耐脏,适合于工业应用。入口 和出口法兰在铝或不锈钢壳体上相互对准。图 3.21 显示了波 纹管密封角阀的设计。梯形或 O 型圈形状的弹性体密封件位 于阀板上。阀板压合在阀座上,以关闭阀。由于机械激化元 件位于真空范围之外,可以毫无问题地对其进行润滑。角阀 可与所有常见的法兰类型一起使用,可分为手动、气动、电 动气动和电磁驱动设计。

对于 UHV 应用,有 FKM 或铜(全金属设计)制成的严实密 封阀体和阀座密封件。

波纹管密封角阀

图 3.21: 波纹管密封角阀