真空技术书籍,第二版

3.6.4 闸阀

上述阀只松开部分公称横截面,而闸阀在开放的位置提供自 由通道。连同其低安装高度,其产生高电导,从而使所需的 最小性能在使用高真空泵过程中损失。

阀板,通常是双向设计,来回移动,以对这些阀进行开关。 在关闭位置,两个元件被迫分开并通过球装置压合在密封面 上。根据阀门移动的方向区分止回阀、梭阀和旋片式阀。而 大多数闸阀因其特殊设计可针对 0.1 MPa 的压差密封在阀板 上,它们只能在阀板上存在低压差时打开。

UHV 闸阀 UHV 闸阀

图 3.23: UHV 闸阀

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