Pfeiffer Vacuum

图索引

1 真空技术介绍

1.1
真空概览
1.2
总压力的定义
1.3
分压的定义
1.4
两次碰撞之间的平均自由程
1.5
氮在温度为 273.15 K 时的分子数密度(红色,右边 y 轴)和平均自由程(蓝色,左边 y 轴)
1.6
各种类型流态的剖面
1.7
根据 p · d 乘积的真空流动范围
1.8
根据管中平均压力,光滑圆形管的电导
1.9
各种物质的蒸气压曲线
1.10
通过涡轮分子泵排空容器的典型残余气体谱

2 基础计算

2.1
罗茨泵无负载的空气压缩比
2.2
具有 Hepta 100 和 Okta 500 泵组的体积流量(抽速)
2.3
干燥系统(示意图)
2.4
用于蒸汽冷凝的罗茨泵组
2.5
用于蒸汽冷凝的罗茨泵组
2.6
用于变压器干燥的罗茨泵组
2.7
不同涡轮分子泵在高工艺压力下的气体吞吐量
2.8
具有压力和吞吐量调节功能的真空系统

3 真空设备中的机械部件

3.1
奥氏体不锈钢弹性模量的温度依赖性
3.2
0.2% 屈服点奥氏体不锈钢的温度依赖性
3.3
De Long-图表
3.4
激光焊缝的横截面图像
3.5
WIG 轨道焊缝的横截面图像
3.6
矩形槽、梯形槽和角位置上的 O 型圈密封件
3.7
具有定心环和夹紧环的 ISO-KF 连接
3.8
安装在座板上具有定心环和爪夹的 ISO-KF 法兰
3.9
具有定心环和双爪夹的 ISO-K 连接
3.10
安装在座板上具有定心环和爪夹的 ISO-K 法兰
3.11
安装在座板上具有 O 型圈螺母和爪夹、用于具有密封槽底板的
3.12
安装在座板上具有定心环、螺栓环和螺丝钉的 ISO-K 法兰
3.13
具有定心环和螺丝钉的 ISO-F 连接
3.14
安装在具有定心环和螺丝钉的 ISO-F 法兰上、具有螺栓环的 ISO-K 法兰
3.15
具有扁平铜垫片和螺丝钉的 CF 连接
3.16
具有铜线和螺丝钉的 COF 连接
3.17
具有冷却剖面和水冷法兰的 EUV 光源室
3.18
具有垫板冷却的空间模拟室
3.19
带玻璃-金属熔合的 CF 多重视窗
3.20
具有陶瓷绝缘铜线导体的电气馈穿件
3.21
波纹管密封角阀
3.22
具有电动气动驱动的直通阀
3.23
UHV 闸阀
3.24
UHV 全金属气体计量阀
3.25
波纹管密封的 UHV 旋转式馈通(香蒲原理)
3.26
磁耦合的 UHV 旋转式馈通
3.27
弹性体密封的旋转式馈通
3.28
Z 轴精密操纵器
3.29
轴精密操纵器

4 真空获得设备

4.1
真空概览
4.2
旋片式真空泵的工作原理
4.3
普发真空旋片式泵
4.4
旋片泵配件
4.5
隔膜真空泵的工作原理
4.6
螺杆泵的工作原理
4.7
HeptaDry 转子
4.8
具有连接和配件的 HeptaDry
4.9
风冷式多级罗茨泵的工作原理
4.10
六氟硅酸铵 (NH4)2SIF6 冷凝于在过低温度下操作的罗茨泵中
4.11
多级罗茨泵、流程泵的工作原理
4.12
ACP 120
4.13
具有连接的 100 L 背面
4.14
203 H 横截面
4.15
1503 H 流程泵站
4.16
罗茨泵的工作原理
4.17
气冷罗茨泵的工作原理
4.18
罗茨泵无负载空气压缩比
4.19
使用 Okta 2000 和各种前级泵的泵站抽速
4.20
侧槽真空泵的工作原理
4.21
涡轮转子的自由度
4.22
涡轮分子泵的工作原理
4.23
具体涡轮分子泵的抽速
4.24
因相对分子质量产生的抽速
4.25
因入口压力产生的抽速
4.26
Holweck 级的工作原理
4.27
纯涡轮分子泵和涡轮拖式泵的压缩比
4.28
典型的 UHV 残余气体光谱(涡轮分子泵)
4.29
标准 HiPace 涡轮分子泵
4.30
ATH M 磁悬浮涡轮分子泵
4.31
涡轮分子泵配件的例子(适用于 HiPace 300)

5 真空测量设备

5.1
膜片式真空计的设计
5.2
电容式膜片真空计的设计
5.3
皮拉尼真空计的工作原理
5.4
皮拉尼真空计曲线
5.5
反磁控管的设计
5.6
反磁控管的工作原理
5.7
Bayard-Alpert 真空计的设计
5.8
压力测量范围和测量原理
5.9
应用概念 DigiLine
5.10
ActiveLine 应用概念
5.11
用于 ModulLine 传感器的 TPG 300 控制单元

6 质谱仪与残余气体分析

6.1
总压和分压测量
6.2
质谱仪的组成部分
6.3
180° 扇形体质谱仪的工作原理
6.4
扇形场质谱仪:(a) 离子源,(b) 探测器
6.5
四级杆质谱仪的工作原理
6.6
四级杆过滤器的稳定性图表
6.6b
轴向离子源的截面
6.7
因电子能量而发生的电离
6.8
CO2的碎片离子分布
6.9
网格离子源
6.10
EID 离子的辨别
6.11
交叉束离子源
6.12
气密轴向离子源
6.13
SPM 离子源
6.14
PrismaPlus 离子源
6.15
法拉第杯的工作原理
6.16
二次电子倍增器 (SEM)
6.17
连续二次电子倍增器 (C-SEM) 的工作原理
6.18
具有进气系统和交叉束离子源的 QMS
6.19
具有不同进气口的差动排气 QMS
6.20
电偏压离子源中的电势曲线
6.21
90° 离轴 SEM

7 泄漏检测

7.1
自行车内胎上的气泡泄漏测试
7.2
扇形体质谱仪的工作原理
7.3
一般泄漏探测器的流程图
7.4
石英视窗传感器的工作原理
7.5
系统上 MiniTest 石英视窗泄漏探测器的真空图
7.6
使用吸枪和真空方法的局部泄漏检测
7.7
使用真空方法的整体泄漏检测
7.8
使用吸枪方法的封闭对象整体泄漏检测
7.9
有空气泄漏的接收器的质谱
7.10
制冷剂软管的泄漏测试装置
7.11
氦气回收装置

8 污染管理解决方案

8.1
摩尔定律(由 Intel 和 AMD 微处理器中的晶体管数量记录)
8.2
使用盒子(左)和 FOUP(右)的晶圆传送
8.3
硅类金刚石的晶体结构
8.4
空气分子污染 AMC 的分类
8.5
FOUP 中的 AMC 来源
8.6
空气中极性和非极性分子
8.7
表面上的气体固体相互作用
8.8
表面位置
8.9
蚀刻后的表面
8.10
晶圆模型边缘的晶体生长
8.11
Pod 再生器流程周期
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