Pfeiffer Vacuum

6.3.4 真空系统

离子必须能够穿过四级杆过滤器,而不与中性气体粒子碰 撞。在压力 $p$ < 10-4 hPa hPa 时获得的平均路径长度是操作四级 杆质谱仪所必需的。这需要具有压力监测功能的合适泵站。 为进行具有最佳灵敏度的气体分析,不仅低底压是必要的, 而且残余气体应只包含源自设备壁解吸的不可避免的分压。 使用涡轮拖式泵站,这种类型的残余气体光谱和低底压可达 到最佳(图 4.27)。附加的总压计防止质谱仪在过高压 力时通电。在建立此类系统时,必须注意进气口、阀、泵和 测量仪器的适当安排,以避免不利流动条件产生的歪曲。真 空工艺在高压下运行的过程中,通常需要一个用于对测量系 统进行抽空的独立泵站。带有涡轮拖式泵和隔膜泵的小型泵 站可作此用途。