真空技术书籍,第二版

6.3.4 真空系统

离子必须能够穿过四级杆过滤器,而不与中性气体粒子碰 撞。在压力 $p$ < 10-4 hPa 时获得的平均自由程是操作四级杆 质谱仪所必需的。这需要具有压力监测功能的合适泵站。为 进行具有最佳灵敏度的气体分析,不仅低本底压力是必要 的, 而且残余气体应只包含源自设备壁解吸的不可避免的分 压。使用涡轮牵引泵,这种类型的残余气体光谱和本底压力 可达到最佳(图 4.27)。附加的总压计防止质谱仪在过高压 力时通电。在建立此类系统时,必须注意进气口、阀、泵和 测量仪器的适当安排,以避免不利流动条件产生的测量误 差。真空工艺在高压下运行的过程中,通常需要一个用于对 测量系统进行抽空的独立泵。带有涡轮牵引泵和隔膜泵的小 型机组可作此用途。