真空技术书籍,第二版

6.2.2 应用说明

检测氦气的扇形场质谱仪现在集成在具有自动控制真空系统 的泄漏检测仪里。因此,操作者不必担心质谱仪的功能能 力。我们提请您注意内表面的清洁对保持高检测灵敏度的重 要性。

  • 当有散射离子撞击时,沉积物可以导致局部空间电荷。这 些电荷使氦离子路径发生偏转,并减少达到探测器的离子 数量。
  • 微通道板上的沉积物减少二次电子的产率,并因此降低了 放大因子。

虽然可以简单地清扫质谱仪的内壁,但受污染的微通道板必 须更换。物体和设备保持清洁极其重要,以保持仪器的高检 测灵敏度。

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