Pfeiffer Vacuum

使用矿物油的腐蚀性版本

旋片泵的腐蚀性版本是为使用矿物油运行而设计的。它们用于采用腐蚀性气体的高要求应用,由于使用矿物油,工作液成本相对较低。

应用领域

  • CVD 涂层
  • 半导体技术

客户价值

  • 空间节省且理想适用于系统集成
  • 小尺寸时抽吸能力高
  • 低最终压力
  • 运行安全,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
  • 由于使用矿物油运行成本低

Pascal 2005 C1 (5 m3/h)

  • 用于输送腐蚀性气体 在腐蚀性环境中可靠运行
  • 耐腐蚀材料
  • 无 PFPE 润滑油时耐腐蚀
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2005 C1 单相电机 180 – 254 V 180 – 254 V 205C1MHEM
Pascal 2005 C1 单相电机 90 – 132 V 90 – 132 V 205C1MLAM
Pascal 2005 C1 三相电机 342 – 460 V 342 – 520 V 205C1THEM
Pascal 2005 C1 三相电机 170 – 254 V 170 – 300 V 205C1TLAM

Pascal 2010 C1 (10 m3/h)

  • 用于输送腐蚀性气体 在腐蚀性环境中可靠运行
  • 耐腐蚀材料
  • 无 PFPE 润滑油时耐腐蚀
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2010 C1 单相电机 180 – 254 V 180 – 254 V 210C1MHEM
Pascal 2010 C1 单相电机 90 – 132 V 90 – 132 V 210C1MLAM
Pascal 2010 C1 三相电机 342 – 460 V 342 – 520 V 210C1THEM
Pascal 2010 C1 三相电机 170 – 254 V 170 – 300 V 210C1TLAM

Pascal 2015 C1 (15 m3/h)

  • 用于输送腐蚀性气体 在腐蚀性环境中可靠运行
  • 耐腐蚀材料
  • 无 PFPE 润滑油时耐腐蚀
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2015 C1 单相电机 180 – 254 V 180 – 254 V 215C1MHEM
Pascal 2015 C1 单相电机 90 – 132 V 90 – 132 V 215C1MLAM
Pascal 2015 C1 三相电机 342 – 460 V 342 – 520 V 215C1THEM
Pascal 2015 C1 三相电机 170 – 254 V 170 – 300 V 215C1TLAM

Pascal 2021 C1 (21 m3/h)

  • 用于输送腐蚀性气体 在腐蚀性环境中可靠运行
  • 耐腐蚀材料
  • 无 PFPE 润滑油时耐腐蚀
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2021 C1 单相电机 180 – 254 V 180 – 254 V 221C1MHEM
Pascal 2021 C1 单相电机 90 – 132 V 90 – 132 V 221C1MLAM
Pascal 2021 C1 三相电机 170 – 254 V 170 – 300 V 221C1THEM
Pascal 2021 C1 三相电机 170 – 254 V 221C1TLAM

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