Pfeiffer Vacuum

工业型

适合工业用途的干泵
目前在世界各地的半导体工厂中,已安装了数以万计的2系列半导体工艺用泵,在工业和研发领域,ACP 120 同样发挥着多级罗茨泵的优势。该水冷真空泵可以作为洁净工艺的标准用泵,也可作为轻微腐蚀工艺或抽空凝结物的净化气体用泵。

优势

  • 性能卓越
  • 可靠性高
  • 维护简单

应用

  • 真空镀膜行业
  • 研发
  • 冷冻干燥
  • 由于其抽速高、基准压力低、循环作业耐受性强、能耗低,是范围在60〜100 立方米/小时等级的旋片泵的最佳取代品。
  • 转子的无接触运行模式使泵体内无磨损——这是实现无颗粒真空环境的唯一途径。
  • 超长的保养间隔 - 在洁净工艺领域可连续工作长达四年而无中断,确保正常运行时间最大化。
  • 可与罗茨泵配搭形成最佳组合,直接作为各个工业领域中前级油泵和真空泵系统的取代产品,如在真空镀膜技术中。
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