Pfeiffer Vacuum

ADPC 302

ADPC 302 是一款在半导体领域独特的用于粒子污染监测的过程内污染管理系统。

高效粒子监测
亚微米粒子会造成可能导致相当大产量损失的缺陷。即使是测量值为 0.1 μm 的最小粒子,也可能会损坏半导体芯片的结构。创新的 ADPC 302 可测量晶片传送载体内的粒子数量(前开式晶圆传送盒 FOUP,前开式装运箱 FOSB)。全自动的专利工艺从载体表面(包括门)对粒子进行定位和计数。

得益于领先的晶圆,该系统可用于成批生产和研发分析。主要应用是载体特征化、清洗策略优化和清洗质量检查。

与传统湿法相比较(液体颗粒计数器),ADPC 的干式工艺(干式粒子计数器)显示出了明显的优势。干式工艺的主要优势在于粒子测量是完全自动的。它是在生产过程中集成的,因此不再需要生产周期之外的时间。有了全自动测量,该过程无需额外的操作员。测试时间只需 7分钟,意味着 ADPC 302 的速度是传统系统的 4 倍。可在 1 个小时内测试 8 个运输箱。

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