Pfeiffer Vacuum

干式罗茨泵站

普发真空提供干式罗茨泵站,将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
干式罗茨泵站是面向高要求工艺(例如半导体行业)的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺,例如装载互锁应用,或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造,我们都可以提供解决方案。

优势

  • 干燥无油的吸入室
  • 这些解决方案提供了最优泵容量和高可靠性。

应用

  • 镀膜
  • 冶金
  • 真空干燥
  • 脱气
  • 光伏
  • 研发
  • 化学工业
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