高压分析仪 HPA 220

高压分析仪 HPA 220

HPA 220, 1-100 amu

高压分析仪——在 1-100 amu 范围内的气体分析
  • 灵活性高,用于工艺分析、工艺监控、工艺检查的 5 个手动或电气动操作进气选项,最高 50 hpa
  • 由多样化的数字和模拟输入输出所带来的便捷灵活的系统集成
  • 多样化运行方式实现了通过一台 PC 即可进行多个质谱仪系统的数据分析
  • 适用于灵活性集成的紧凑尺寸

HPA 220, 1-100 amu

高压分析仪——在 1-300 amu 范围内的气体分析
  • 灵活性高,用于工艺分析、工艺监控、工艺检查的 5 个手动或电气动操作进气选项,最高 50 hpa
  • 由多样化的数字和模拟输入输出所带来的便捷灵活的系统集成
  • 多样化运行方式实现了通过一台 PC 即可进行多个质谱仪系统的数据分析
  • 适用于灵活性集成的紧凑尺寸

HPA 220, 1-200 amu

高压分析仪——在 1-200amu 范围内的气体分析
  • 灵活性高,用于工艺分析、工艺监控、工艺检查的 5 个手动或电气动操作进气选项,最高 50 hpa
  • 由多样化的数字和模拟输入输出所带来的便捷灵活的系统集成
  • 多样化运行方式实现了通过一台 PC 即可进行多个质谱仪系统的数据分析
  • 适用于灵活性集成的紧凑尺寸

在压力范围高达 50 hPa 下的气体分析

高压分析仪 HPA 220 是一个模块化、灵活实用的质谱仪系统,它带有一个干式涡轮分子泵组,可用于在压力高达 50 hPa 的真空中进行气体分析。

 
根据 HPA 220 的用途,有五种不同电动气动以及手动操作的进气口阀可供选择。

产品优势

  • 由于其 5 种手动、电动气动操作的进气口选择,使得它在压力高达 50 hPa 压下为分析、监测和控制过程提供了很大的灵活性。
  • 通过各种数字和模拟输入和输出,使系统集成方便而灵活。
  • 多重操作允许多个质谱仪 系统只用一台电脑进行数据评估。
  • 紧凑的尺寸实现灵活的集成。

应用

  • 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的压力范围内进行真空工艺的分析、监测和控制
  • 真空镀膜系统的制造商和操作员
  • 半导体生产
  • 光刻
  • 冶金
  • 真空炉
  • 研发
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