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PT M52 380
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SPM 220,用于压力最高 10 hPa 的操作压力,孔板法兰(差动排气),115–230 V
订单号: PT M52 380

  • 带法兰 DN 40 CF-F 和隔板 0.1 mm 的差分泵压力等级
  • 带电源件 TPS 311 和用于外部访问的远程接口的系统控制系统 BRU 220
  • 带 SplitFlow 80 和前级真空泵 MVP 020-3 DC 的涡轮分子泵设备
  • 总压测量管 PKR 251
  • 电缆组,3 米
  • 适用于 Windows 7, XP Professional (32 位)的 Quadera®软件,用于参数化 PrismaPlus 系统,以及记录、保存并显示测量数据包括用于 Quadera®的 SPM-Software-Add-In
  • SPM 220,溅射工艺监测器,测量范围 1-200 u、115-230 V、50/60 Hz,适用于压力范围 10 hPa > p > 1 · 10-4 hPa 内的残余气体分析,组成:
  • 带四极电子装置 QME 220 的 PrismaPlus,带 SPM 离子源和铱长丝、氧化钇涂层的四极分析仪 QMA 200 M

通过简单点击调用泄漏查找及残余气体分析程序。借助集成的矩阵计算确定气体浓度和分压简便、菜单导向式选择破碎工艺典型测量程序。

SPM系统控制 BRU 220
供应 115-230 V
前级泵 MVP 020-3
四极控制 QME 220
带 SPM 离子源的分析仪 QMA 220
探测器 C-SEM/Faraday
最大入口压力 10 hPa
杆系统:材料 不锈钢
杆系统:直径 6 毫米
杆系统:长度 100 毫米
检测极限(氩中):二氧化碳 < 100 ppb
检测极限(氩中):氧气 < 100 ppb
检测极限(氩中):氮 < 100 ppb
检测极限(氩中):水 < 6000 ppb
检测极限(氩中):水蒸气 < 500 ppb
涡轮泵 带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
电缆长度 3 米
系统控制 BRU 220
质量范围 1 – 200 u
软件 Quadera®
过程压力至 10 百帕
连接法兰(入口) DN 40 CF-F
重量:分析仪 包括涡轮 13 千克

尺寸-TIM-RS

B
290 毫米
C
380 毫米
D
395 毫米
文件名 类型 语言 日期 文件大小
数据表 PDF ZH 2020-08-08 ~ 599.1 KB
Stepfile STP ZH 2017-01-05 ~ 21.8 MB
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