Pfeiffer Vacuum

标准操纵器

操纵器和机械馈通件的使用,实现了真空环境下的运动传递,包括粗真空到高真空范围内的运动。

弹性密封系统
在腔体中的贯穿轴能够实现旋转以及平移运动。特殊的弹性密封件保证了它能适用于高真空状态,而真空环境所适用的润滑油脂则可以使运动趋于平稳。
与磁耦合系统相比,这种类型的直接传输凭借在真空中产生的更高最大力和力矩,可以实现更精确的运动。然而,其弹性体密封件使其仅适用于高真空应用中。

磁耦合系统
磁耦合旋转/轴向馈通件专为超高真空应用而设计。在磁耦合的协助作用下,旋转运动可以从大气一侧传输到真空环境中。这样省去了一个直接馈通件的使用,且该轴被包含在向真空侧开放的腔体里。

膜片波纹管密封系统
使用0.005 mm 分辨率设置的波纹管操纵器在真空中可以做最精确的运动。灵活可变的膜片波纹管能将运动传输到真空中,这也保证了其在超高真空中的适用性。
它的精度是通过无间隙循环滚珠轴承导向和驱动方式、及其巨大的腔体来实现的。通过直接焊接到法兰上的膜片波纹管,来完成超高真空环境中的旋转运动传输。

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