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Two-stage Rotary Vane Pumps - Pfeiffer Vacuum

准备使用全氟聚醚 (PFPE) 油的腐蚀性版本

旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。

应用领域

  • CVD 涂层
  • 涂层(磨损保护)
  • 半导体技术
  • 研究和开发

客户价值

  • 空间节省且理想适用于系统集成
  • 小尺寸时抽吸能力高
  • 低最终压力
  • 运行安全,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
  • 由于化学惰性,工作液使用时间长

Pascal 2010 C2 (10 m3/h)

  • 适应于腐蚀性最强的应用
  • 特殊的防腐蚀性能
  • 为使用 PFPE 润滑剂的运行而开发和预备
  • 吹扫气体管路用于向润滑油中进行持续的氮气喷射(其通过均匀除气来达到 10 °C 的低运行温度并减少腐蚀)
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2010 C2 180 – 254 V 180 – 254 V 210C2MHEN
Pascal 2010 C2 90 – 132 V 90 – 132 V 210C2MLAN
Pascal 2010 C2 342 – 460 V 342 – 520 V 210C2THEN
Pascal 2010 C2 342 – 460 V 342 – 520 V 210C2TLAN

Pascal 2015 C2 (15 m3/h)

  • 适应于腐蚀性最强的应用
  • 特殊的防腐蚀性能
  • 为使用 PFPE 润滑剂的运行而开发和预备
  • 吹扫气体管路用于向润滑油中进行持续的氮气喷射(其通过均匀除气来达到 10 °C 的低运行温度并减少腐蚀)
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2015 C2 90 – 132 V 90 – 132 V 215C2MHEN
Pascal 2015 C2 90 – 132 V 90 – 132 V 215C2MLAN
Pascal 2015 C2 342 – 460 V 342 – 520 V 215C2THEN
Pascal 2015 C2 170 – 254 V 170 – 300 V 215C2TLAN

Pascal 2021 C2 (21 m3/h)

  • 适应于腐蚀性最强的应用
  • 特殊的防腐蚀性能
  • 为使用 PFPE 润滑剂的运行而开发和预备
  • 吹扫气体管路用于向润滑油中进行持续的氮气喷射(其通过均匀除气来达到 10 °C 的低运行温度并减少腐蚀)
  • 紧凑型设计
  • 水平或垂直方向可调节的入口和出口支架更便于集成
  • 通用单相电动机(高电压和低电压,50/60 Hz)
  • 在各大 OEM 中便捷集成
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Pascal 2021 C2 180 – 254 V 180 – 254 V 221C2MHEN
Pascal 2021 C2 90 – 132 V 90 – 132 V 221C2MLAN
Pascal 2021 C2 342 – 460 V 342 – 520 V 221C2THEN
Pascal 2021 C2 170 – 254 V 170 – 300 V 221C2TLAN

Duo 35/M

  • 安全,洁净,低维护
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
  • 不含有色金属
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 35 C 230/400 V 265/460 V PK D45 202
Duo 35 C 220/380 V PK D45 242

Duo 65/M

  • 安全,洁净,低维护
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
  • 不含有色金属
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 65 C 230/400 V 265/460 V PK D46 202
Duo 65 C 220/380 V PK D46 242
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