磁耦合抗腐蚀款型 (PFPE)

旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液，这种泵可用于高腐蚀性的工艺中。通过使用磁耦合，这种泵的整体泄漏率低于 1 · 10^-7 Pa m³/s，从而使腐蚀性应用时的运行安全性。全氟聚醚 (PFPE) 工作液必须单独订购。

应用领域

• CVD 覆层
• 涂层（磨损保护）
• 半导体技术
• 研发

客户价值

• 空间节省且理想适用于系统集成
• 小尺寸时抽吸能力高
• 低最终压力
• 提供较高的运行可靠性，使用特殊材料与腐蚀性物质接触
• 由于化学惰性，工作液使用时间长
• 通过密封设计，安全性超高

Duo 3 MC

• 使用特殊材料，耐性更高
• 结构紧凑，占地面积小
• 配备单相串励电机，从而几乎可覆盖各国网络
• 带免维护磁性联轴器
• 已针对 PFPE 操作材料准备就绪

Duo 6 MC

• 使用特殊材料，耐性更高
• 结构紧凑，占地面积小
• 水蒸气容限高
• 配备单相串励电机，从而几乎可覆盖各国网络
• 带免维护磁性联轴器
• 已针对 PFPE 操作材料准备就绪

Duo 11 MC

• 使用特殊材料，耐性更高
• 结构紧凑，占地面积小
• 水蒸气容限高
• 配备单相串励电机，从而几乎可覆盖各国网络
• 带免维护磁性联轴器
• 已针对 PFPE 操作材料准备就绪

Duo 20 MC

• 使用特殊材料，耐性更高
• 带免维护磁性联轴器
• 已针对 PFPE 操作材料准备就绪

Duo 35 MC

• 使用特殊材料，耐性更高
• 坚固设计，适用于高要求的工业应用和极长的维护间隔
• 附件齐全，应用灵活
• 带免维护磁性联轴器
• 可调节的进口和出口接头，可在垂直或水平方向调节，从而能更好集成
• 已针对 PFPE 操作材料准备就绪

Duo 65 MC

• 使用特殊材料，耐性更高
• 坚固设计，适用于高要求的工业应用和极长的维护间隔
• 附件齐全，应用灵活
• 带免维护磁性联轴器
• 可调节的进口和出口接头，可在垂直或水平方向调节，从而能更好集成
• 已针对 PFPE 操作材料准备就绪