磁耦合的腐蚀性版本,准备使用 全氟聚醚 (PFPE) 油

旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。通过使用磁耦合,这种泵的整体泄漏率低于 1 · 10-7 Pa m3/s,从而使腐蚀性应用时的运行安全性最大化。全氟聚醚 (PFPE) 工作液必须单独订购。

应用领域

  • CVD 涂层
  • 涂层(磨损保护)
  • 半导体技术
  • 研究和开发

客户价值

  • 空间节省且理想适用于系统集成
  • 小尺寸时抽吸能力高
  • 低最终压力
  • 运行安全,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
  • 由于化学惰性,工作液使用时间长
  • 通过密封设计,安全性超高

Duo 3 MC

  • 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络
  • 带免维护磁性联轴器
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 结构紧凑,占地面积最小化

Duo 6 MC

  • 水蒸气容限极高
  • 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络
  • 带免维护磁性联轴器
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 结构紧凑,占地面积最小化

Duo 11 MC

  • 水蒸气容限极高
  • 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络
  • 带免维护磁性联轴器
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 结构紧凑,占地面积最小化

Duo 20 MC

  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 带免维护磁性联轴器

Duo 35 MC

  • 附件齐全,应用灵活
  • 带免维护磁性联轴器
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 坚固设计,适用于高要求的工业应用和极长的维护间隔

Duo 65 MC

  • 附件齐全,应用灵活
  • 带免维护磁性联轴器
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 坚固设计,适用于高要求的工业应用和极长的维护间隔
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