F4，全氟聚醚， 1 l
订单号: PK 005 887 -T
- 适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵
- 极低的蒸气压，可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
- 适用于泵出氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、 BF3、HF、PO3、氟
- 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用
F4，全氟聚醚， 1 l
| Operating fluid attributes | 等离子蚀刻 |
| 可达到的最终压力 | < 1 · 10-3 百帕 |
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 数据表 | ZH | 2020-08-06 | ~ 54.9 KB | ||
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