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F4,全氟聚醚, 1 l
订单号: PK 005 887 -T

  • 适用于泵出氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、 BF3、HF、PO3、氟
  • 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用
  • 适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵
  • 极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
Operating fluid attributes 等离子蚀刻
可达到的最终压力 < 1 · 10-3 百帕
文件名 类型 语言 日期 文件大小
数据表 PDF ZH 2019-10-17 ~ 54.9 KB
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