产品分类
Two-stage Rotary Vane Pumps - Pfeiffer Vacuum

磁耦合的腐蚀性版本,准备使用 全氟聚醚 (PFPE) 油

旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。通过使用磁耦合,这种泵的整体泄漏率低于 1 · 10-7 Pa m3/s,从而使腐蚀性应用时的运行安全性最大化。全氟聚醚 (PFPE) 工作液必须单独订购。

应用领域

  • CVD 涂层
  • 涂层(磨损保护)
  • 半导体技术
  • 研究和开发

客户价值

  • 空间节省且理想适用于系统集成
  • 小尺寸时抽吸能力高
  • 低最终压力
  • 运行安全,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
  • 由于化学惰性,工作液使用时间长
  • 通过密封设计,安全性超高

Duo 5 M

  • 安全,洁净,低维护
  • 紧凑结构 - 杰出功率数据
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 不含有色金属
  • 通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 5 MC 95 – 120 V 208 – 240 V PK D61 727
Duo 5 MC 200 – 240 V 208 – 240 V PK D61 732

Duo 10 M

  • 安全,洁净,低维护
  • 紧凑结构 - 杰出功率数据
  • 不含有色金属
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 10 MC 100 – 110 V 100 – 120 V PK D62 727
Duo 10 MC 200 – 230 V 200 – 240 V PK D62 732

Duo 20/M

  • 安全,洁净,低维护
  • 紧凑结构 - 杰出功率数据
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
  • 不含有色金属
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 20 MC 100 – 110 V 100 – 120 V PK D63 727
Duo 20 MC 200 – 230 V 200 – 240 V PK D63 732

Duo 35/M

  • 安全,洁净,低维护
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
  • 不含有色金属
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 35 MC 230/400 V 265/460 V PK D45 027

Duo 65/M

  • 安全,洁净,低维护
  • 集成型安全阀和气镇阀
  • 特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
  • 不含有色金属
型号名称 电机型号 电源连接:电压 50 Hz 电源连接:电压 60 Hz 订单号
Duo 65 MC 230/400 V 265/460 V PK D46 036
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