针对您的工艺有不同的泵油和真空油

工作用油

普发真空为旋片泵提供不同的泵油(真空油)。通过使用适合于您工艺的泵油,可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用,例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中,但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于 21 % 的介质。
 

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