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F4,全氟聚醚,0.5 l
订单号: PK 005 886 -T

  • 适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵
  • 极低的蒸气压,可实现的最终压力 < 1 · 10-3 hPa
  • 适用于泵出氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、 BF3、HF、PO3、氟
  • 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用
Operating fluid attributes 等离子蚀刻
可达到的最终压力 < 1 · 10-3 百帕
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