A4H 系列

A4H 系列

A4H 系列干式泵处理中负载半导体和涂层应用
半导体和涂层生产的中负荷工艺始终需要真空泵的真空功能和强大设计。基于成熟的节能多级罗茨泵技术,A4H 系列提供七个不同的干式泵解决方案,抽速从 100 到 3,000 m3/h,各不相同。A4H 系列可与前任系列泵完全兼容。您可以选择:我们提供三种泵型号(A 124 H、A 604 H、A 1204 H)专用于非关键应用,以及五种不同型号(A 204 H、A 804 H、A 1504 H、A 1804 H 和 A 3004 H)用于要求更苛刻的应用。

  • 得益于多级罗茨泵技术、高效电机以及电加热器的有限使用而实现高能效
  • 工作温度范围宽,防止泵的前驱体发生爆裂或可冷凝物沉积。
  • 高故障间隔平均时间,和低拥有成本
  • 高颗粒耐受性提高工具的正常运行时间
  • 准确控制泵操作条件和空闲模式功能的扩展监控功能
  • 符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准

应用

  • 半导体产业(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
  • 涂层产业:光伏和 LED

用于严苛工艺的最优解决方案
A4H 系列干式泵气体吞吐量高,颗粒耐受性提高,是半导体和涂料行业中最苛刻工艺的最佳解决方案。该系列泵配备了扩展的温度管理,覆盖高低工作温度,防止副产品形成或抽吸阶段发生爆裂。结合高温精密轴承,工艺可靠性提高。该系列泵符合 Semi S2 和 UL 61010 标准。

A4H 系列:用于 CVD 工艺的最节能解决方案
得益于其多级罗茨泵技术和高效电机,A4 系列是工艺操作中能耗最低的泵之一。与空闲模式功能和用户友好型转速调整相结合,使用这些干式泵可以将运营成本降至最低。

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