| 0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 | 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 | 8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 | 15 hPa l/s | 11.25 Torr l/s | 15 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
| CF4的压缩比 | 1 · 108 |
| CF4的抽气速度 | 950 l/s |
| I/O 接口 | RS-485, 远程 |
| 允许的最高径向磁场 | 6 mT |
| 冷却水接口 | G 1/4” |
| 冷却水流量 | 100 l/h |
| 冷却水温度 | 15 – 35 摄氏度 |
| 冷却类型 | 水 |
| 启动时间 | 2.5 分 |
| 声压水平 | 50 分贝 (A) |
| 安装方向 | 0°（高真空法兰顶部）– 90° |
| 工作电压：50/60Hz | 100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
| 放气接口 | G 1/8" |
| 最大冷却水流量 | 100 l/h |
| 最大耗电量 | 1350 伏安 |
| 最大转速下的CF4气流量 | 12 hPa l/s | 9 Torr l/s | 12 mbar l/s |
| 最小冷却水流量 | 100 l/h |
| 最终压力 | 1 · 10-7 百帕 |
| 最终转速下的氢气流量 | > 30 hPa l/s | > 22.5 Torr l/s | > 30 mbar l/s |
| 最终转速下的氮气流量 | 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s |
| 氢气抽气速度 | 1100 l/s |
| 氢气的压缩比 | 6 · 103 |
| 氦气在最终转速下的气流量 | > 30 hPa l/s | > 22.5 Torr l/s | > 30 mbar l/s |
| 氦气的压缩比 | 6 · 104 |
| 氦气的抽气速率 | 1300 l/s |
| 氩气在最终转速下的气流量 | 11 hPa l/s | 8.25 Torr l/s | 11 mbar l/s |
| 氩气抽气速率 | 1200 l/s |
| 氩气的压缩比 | 1 · 108 |
| 氮气的压缩比 | 1 · 108 |
| 用于氮气的抽气速度 | 1250 l/s |
| 电子驱动单元 | TC 1200 |
| 电流最大值 | 10 A |
| 认证 | 兼容 Semi S2 CSA UL TÜV |
| 转速 ± 2 % | 37,800 rpm | 37,800 min-1 |
| 转速可变化 | 50 – 100 % |
| 轴承 | 混合 |
| 连接法兰（入口） | DN 200 ISO-F |
| 连接法兰（出口） | DN 40 ISO-KF |
| 适用于氮气的前级真空最大值 | 2 百帕 |
| 适用于电子驱动单元 | TC 1200 |
| 重量 | 30.5 千克 |
| 防护等级 | IP54 |
| 带多功能涂层的定心环，DN 200 ISO-K/-F | PM 016 220 AU |
| 前级泵屏蔽式继电器盒，单相 20 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350，M12 | PM 071 285 -X | |
| 前级泵屏蔽式继电器盒，单相 7 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350，M12 | PM 071 284 -X |
| 用于安装泵的连接套件，DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 数据表 | ZH | 2023-03-24 | ~ 471.5 KB | ||
| Stepfile | STP | ZH | 2022-08-16 | ~ 8.3 MB | |
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
