0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 |
30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 |
8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 |
15 hPa l/s | 11.25 Torr l/s | 15 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 |
26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 |
26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
CF4的压缩比 |
1 · 108 |
CF4的抽气速度 |
950 l/s |
I/O 接口 |
RS-485, 远程 |
允许的最高径向磁场 |
6 mT |
冷却水接口 |
G 1/4” |
冷却水流量 |
100 l/h |
冷却水温度 |
15 – 35 摄氏度 |
冷却类型 |
水 |
启动时间 |
2.5 分 |
声压水平 |
50 分贝 (A) |
安装方向 |
90° – 180°(高真空法兰底部) |
工作电压:50/60Hz |
100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
放气接口 |
G 1/8" |
最大冷却水流量 |
100 l/h |
最大耗电量 |
1350 伏安 |
最大转速下的CF4气流量 |
12 hPa l/s | 9 Torr l/s | 12 mbar l/s |
最小冷却水流量 |
100 l/h |
最终压力 |
1 · 10-7 百帕 |
最终转速下的氢气流量 |
> 30 hPa l/s | > 22.5 Torr l/s | > 30 mbar l/s |