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配备了 TC 1200、E74、DN 200 CF-F 的 HiPace® 1200 U
订单号: PM P06 018

  • 高性能的涡轮泵,用于氮气时的最高抽气速率可达 1250 l/s
0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 15 hPa l/s | 11.25 Torr l/s | 15 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s
CF4的压缩比 1 · 108
CF4的抽气速度 950 l/s
I/O 接口 E74、RS-485
允许的最高径向磁场 6 mT
冷却水接口 G 1/4”
冷却水流量 100 l/h
冷却水温度 15 – 35 摄氏度
冷却类型
启动时间 2.5 分
声压水平 50 分贝 (A)
安装方向 90° – 180°(高真空法兰底部)
工作电压:50/60Hz 100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC
放气接口 G 1/8"
最大冷却水流量 100 l/h
最大耗电量 1350 伏安
最大转速下的CF4气流量 12 hPa l/s | 9 Torr l/s | 12 mbar l/s
最小冷却水流量 100 l/h
最终压力 5 · 10-10 百帕
最终转速下的氢气流量 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s
最终转速下的氮气流量 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
氢气抽气速度 1100 l/s
氢气的压缩比 6 · 103
氦气在最终转速下的气流量 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
氦气的压缩比 2 · 104
氦气的抽气速率 1300 l/s
氩气在最终转速下的气流量 6 hPa l/s | 4.5 Torr l/s | 6 mbar l/s
氩气抽气速率 1200 l/s
氩气的压缩比 1 · 108
氮气的压缩比 1 · 108
用于氮气的抽气速度 1250 l/s
电子驱动单元 TC 1200
电流最大值 10 A
认证 兼容 Semi S2
CSA
UL
TÜV
转速 ± 2 % 37,800 rpm | 37,800 min-1
转速可变化 50 – 100 %
轴承 混合
连接法兰(入口) DN 200 CF-F
连接法兰(出口) DN 40 ISO-KF
适用于氮气的前级真空最大值 2 百帕
适用于电子驱动单元 TC 1200
重量 40.9 千克
防护等级 IP54
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USA

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