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PM P06 027
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配备了 TC 1200、E74、DN 200 ISO-F 的 HiPace® 1200 C,腐蚀性
订单号: PM P06 027

  • 具有最高 1250 l/s 对于 N2 抽吸能力的高性能涡轮分子泵
CF4的压缩比 1 · 108
CF4的抽气速度 950 l/s
I/O 接口 E74、RS-485
主电源频率兼容性 50 Hz
60 Hz
允许的最高径向磁场 6 mT
冷却水接口 G 1/4
冷却水流量 100 l/h
冷却水温度 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
冷却类型
启动时间 2.5 min
声压水平 50 dB(A)
安装方向 0°(高真空法兰顶部)– 90°
抽速 3,960-4,500 m³/h | 2,330.86-2,648.7 cfm | 66,000-75,000 l/min
放气接口 G 1/8"
整体泄漏率 1 · 10-8 Pa m3/s | 7.5 · 10-8 Torr l/s | 1 · 10-7 mbar l/s
最大耗电量 1350 VA
最终压力 1 · 10-7 hPa | 7.5 · 10-8 Torr | 1 · 10-7 mbar
氢气抽气速度 1100 l/s
氢气的压缩比 6 · 103
氦气的压缩比 6 · 104
氦气的抽气速率 1300 l/s
氩气抽气速率 1200 l/s
氩气的压缩比 1 · 108
氮气的压缩比 1 · 108
温度:储存 -25-55 °C | -13-131 °F | 248-328 K
温度:运输 -25-55 °C | -13-131 °F | 248-328 K
用于氮气的抽气速度 1250 l/s
电子驱动单元 TC 1200
电子驱动单元安装类型 集成电子驱动单元
电流最大值 10 A
电源包的位置 集成电源包
腐蚀性气体型
认证 兼容 Semi S2
UL
CSA
TÜV
转速 ± 2 % 37,800 rpm | 37,800 min-1
转速可变化 50 – 100 %
轴承 混合
输入电压 100 – 120 / 200 – 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz  
连接法兰(入口) DN 200 ISO-F
连接法兰(出口) DN 40 ISO-KF
适用于氮气的前级真空最大值 2 hPa | 1.5 Torr | 2 mbar
重量 30.5 kg | 67.24 lb
防护等级 IP54
颗粒吸入
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