配备了 TC 1200、E74、DN 200 CF-F 的 HiPace® 1200 C,腐蚀性
订单号: PM P06 028
- 高性能的涡轮泵,用于氮气时的最高抽气速率可达 1250 l/s
0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 | 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 | 8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 | 15 hPa l/s | 11.25 Torr l/s | 15 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
CF4的压缩比 | 1 · 108 |
CF4的抽气速度 | 950 l/s |
I/O 接口 | E74、RS-485 |
允许的最高径向磁场 | 6 mT |
冷却水接口 | G 1/4” |
冷却水流量 | 100 l/h |
冷却水温度 | 15 – 35 摄氏度 |
冷却类型 | 水 |
启动时间 | 2.5 分 |
声压水平 | 50 分贝 (A) |
安装方向 | 0°(高真空法兰顶部)– 90° |
工作电压:50/60Hz | 100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
放气接口 | G 1/8" |
最大冷却水流量 | 100 l/h |
最大耗电量 | 1350 伏安 |
最大转速下的CF4气流量 | 12 hPa l/s | 9 Torr l/s | 12 mbar l/s |
最小冷却水流量 | 100 l/h |
最终压力 | 5 · 10-10 百帕 |
最终转速下的氢气流量 | 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
最终转速下的氮气流量 | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
氢气抽气速度 | 1100 l/s |
氢气的压缩比 | 6 · 103 |
氦气在最终转速下的气流量 | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
氦气的压缩比 | 6 · 104 |
氦气的抽气速率 | 1300 l/s |
氩气在最终转速下的气流量 | 6 hPa l/s | 4.5 Torr l/s | 6 mbar l/s |
氩气抽气速率 | 1200 l/s |
氩气的压缩比 | 1 · 108 |
氮气的压缩比 | 1 · 108 |
用于氮气的抽气速度 | 1250 l/s |
电子驱动单元 | TC 1200 |
电流最大值 | 10 A |
腐蚀性气体型 | 是 |
认证 | 兼容 Semi S2 UL CSA TÜV |
转速 ± 2 % | 37,800 rpm | 37,800 min-1 |
转速可变化 | 50 – 100 % |
轴承 | 混合 |
连接法兰(入口) | DN 200 CF-F |
连接法兰(出口) | DN 40 ISO-KF |
适用于氮气的前级真空最大值 | 2 百帕 |
适用于电子驱动单元 | TC 1200 |
重量 | 40.9 千克 |
防护等级 | IP54 |
集成电源包 | 是 |
铜垫片,无氧高导电性铜,DN 200 CF | 490DFL200-S5 |
铜垫片,镀银,DN 200 CF | 490DFL200-S-S5 |
镀银铜垫片,真空退火,DN 200 CF | 490DFL200-S-G-S5 |
铜垫片,真空退火,DN 200 CF | 490DFL200-G-S5 |
弹性密封件,FKM, DN 200 CF | 402DFL200-Z |
前级泵屏蔽式继电器盒,单相 7 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350,M12 | PM 071 284 -X | |
前级泵屏蔽式继电器盒,单相 20 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350,M12 | PM 071 285 -X |
弹性密封件,FKM, DN 200 CF | 402DFL200-S2 |
用于安装泵的连接套件,DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
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数据表 | ZH | 2023-03-25 | ~ 402.4 KB | ||
Stepfile | STP | ZH | 2022-08-16 | ~ 8.5 MB |
T | +1 (800) 248-8254 |
F | +1 (888) 658-7983 |