配备了 TC 1200、DN 200 ISO-F 的 HiPace® 1800 C，腐蚀性
| 0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 | 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 | 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 | 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 | 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s |
| CF4的压缩比 | > 1 · 108 |
| CF4的抽气速度 | 1050 l/s |
| I/O 接口 | RS-485, 远程 |
| 不含气镇装置的最终压力 | 1 · 10-7 百帕 |
| 允许的最高径向磁场 | 7 mT |
| 冷却水接口 | G 1/4” |
| 冷却水流量 | 100 l/h |
| 冷却水温度 | 15 – 35 摄氏度 |
| 冷却类型 | 水 |
| 启动时间 | 4 分 |
| 声压水平 | ≤50 分贝 (A) |
| 安装方向 | 0°（高真空法兰顶部）– 90° |
| 放气接口 | G 1/8" |
| 最大冷却水流量 | 100 l/h |
| 最大耗电量 | 1350 伏安 |
| 最大转速下的CF4气流量 | 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
| 最小冷却水流量 | 100 l/h |
| 最终转速下的氢气流量 | > 50 hPa l/s | > 37.5 Torr l/s | > 50 mbar l/s |
| 最终转速下的氮气流量 | 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s |
| 根据 PNEUROP 的最终压力 | 1 · 10-7 百帕 |
| 氢气抽气速度 | 1700 l/s |
| 氢气的压缩比 | 2 · 104 |
| 氦气在最终转速下的气流量 | 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s |
| 氦气的压缩比 | 3 · 105 |
| 氦气的抽气速率 | 1650 l/s |
| 氩气在最终转速下的气流量 | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
| 氩气抽气速率 | 1370 l/s |
| 氩气的压缩比 | > 1 · 108 |
| 氮气的压缩比 | > 1 · 108 |
| 用于氮气的抽气速度 | 1450 l/s |
| 电子驱动单元 | TC 1200 |
| 电流最大值 | 10 A |
| 腐蚀性气体型 | 是 |
| 认证 | 兼容 Semi S2 UL CSA TÜV |
| 转速 ± 2 % | 31,500 rpm | 31,500 min-1 |
| 转速可变化 | 50 – 100 % |
| 轴承 | 混合 |
| 连接法兰（入口） | DN 200 ISO-F |
| 连接法兰（出口） | DN 40 ISO-KF |
| 适用于氮气的前级真空最大值 | 1.8 百帕 |
| 适用于电子驱动单元 | TC 1200 |
| 重量 | 37.8 千克 |
| 防护等级 | IP54 |
| 集成电源包 | 是 |
安装
DN ISO-F，安装套件
保护
电缆
RS-485 接口电缆
电源电缆/电源线
前级泵控制器电缆
延长电缆
接口电缆，M12 m 直型 / M12 m 直型，3 m PM 061 283 -T 接口电缆，M12 m 直型 / M12 m 角型，0.7 米 PM 061 791 -T 电源线，230 V AC, CEE 7/7 连接到 HAN 3A，3 m P 4564 309 HA 电源线，208 V AC，NEMA 6-15 连接到 HAN 3A，3 米 P 4564 309 HB 电源线，115 V AC，NEMA 5-15 连接到 HAN 3A，3 米 PM 061 187 -X HiPace – ACP 连接电缆 PM 071 142 -X 泵站的控制电缆，0.7 米 PM 061 675 AT M12 上的延长电缆 M12 PM 061 747 -T 阀
放气
监控
减振
减振器，用于 HiPace 800/1200，DN 200 CF-F PM 006 669 -X 控制装置
电源和控制显示器
前级泵
前级泵屏蔽式继电器盒，单相 7 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350，M12 PM 071 284 -X 前级泵屏蔽式继电器盒，单相 20 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350，M12 PM 071 285 -X 连接
用于安装泵的连接套件，DN 40 ISO-KF 120SWS040-1000 适配器（电气）
PV 罐
RS-232/485
远程
TIC 010，两个传感器的适配器 PT R70 000 USB RS-485转换器 PM 061 207 -T Y 型连接器，屏蔽式，M12，用于附件 P 4723 013
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 数据表 | ZH | 2022-05-17 | ~ 446.9 KB | ||
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 操作手册 | ZH | 2022-01-04 | ~ 7.9 MB | ||
| 操作说明 | ZH | 2020-11-04 | ~ 3.2 MB | ||
Your local contact
Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA
write message
NH 03063-1988 Nashua
USA
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
