0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 | 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 | 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 | 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s |
0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 | 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s |
CF4的压缩比 | > 1 · 108 |
CF4的抽气速度 | 1050 l/s |
I/O 接口 | RS-485, 远程 |
不含气镇装置的最终压力 | 1 · 10-7 百帕 |
允许的最高径向磁场 | 7 mT |
冷却水接口 | G 1/4” |
冷却水流量 | 100 l/h |
冷却水温度 | 15 – 35 摄氏度 |
冷却类型 | 水 |
启动时间 | 4 分 |
声压水平 | ≤50 分贝 (A) |
安装方向 | 0°(高真空法兰顶部)– 90° |
放气接口 | G 1/8" |
最大冷却水流量 | 100 l/h |
最大耗电量 | 1350 伏安 |
最大转速下的CF4气流量 | 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
最小冷却水流量 | 100 l/h |
最终转速下的氢气流量 | > 50 hPa l/s | > 37.5 Torr l/s | > 50 mbar l/s |
最终转速下的氮气流量 | 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s |
根据 PNEUROP 的最终压力 | 1 · 10-7 百帕 |
氢气抽气速度 | 1700 l/s |
氢气的压缩比 | 2 · 104 |
氦气在最终转速下的气流量 | 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s |
氦气的压缩比 | 3 · 105 |
氦气的抽气速率 | 1650 l/s |
氩气在最终转速下的气流量 | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
氩气抽气速率 | 1370 l/s |
氩气的压缩比 | > 1 · 108 |
氮气的压缩比 | > 1 · 108 |
用于氮气的抽气速度 | 1450 l/s |
电子驱动单元 | TC 1200 |
电流最大值 | 10 A |
腐蚀性气体型 | 是 |
认证 | 兼容 Semi S2 UL CSA TÜV |
转速 ± 2 % | 31,500 rpm | 31,500 min-1 |
转速可变化 | 50 – 100 % |
轴承 | 混合 |
连接法兰(入口) | DN 200 ISO-F |
连接法兰(出口) | DN 40 ISO-KF |
适用于氮气的前级真空最大值 | 1.8 百帕 |
适用于电子驱动单元 | TC 1200 |
重量 | 37.8 千克 |
防护等级 | IP54 |
集成电源包 | 是 |
接口电缆,M12 m 直型 / M12 m 直型,3 m | PM 061 283 -T | |
接口电缆,M12 m 直型 / M12 m 角型,0.7 米 | PM 061 791 -T |
电源线,230 V AC, CEE 7/7 连接到 HAN 3A,3 m | P 4564 309 HA | |
电源线,208 V AC,NEMA 6-15 连接到 HAN 3A,3 米 | P 4564 309 HB | |
电源线,115 V AC,NEMA 5-15 连接到 HAN 3A,3 米 | PM 061 187 -X |
HiPace – ACP 连接电缆 | PM 071 142 -X | |
泵站的控制电缆,0.7 米 | PM 061 675 AT |
M12 上的延长电缆 M12 | PM 061 747 -T |
减振器,用于 HiPace 800/1200,DN 200 CF-F | PM 006 669 -X |
前级泵屏蔽式继电器盒,单相 7 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350,M12 | PM 071 284 -X | |
前级泵屏蔽式继电器盒,单相 20 A 适用于 TC 400/1200、TM 700 和 TCP 350,M12 | PM 071 285 -X |
用于安装泵的连接套件,DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
TIC 010,两个传感器的适配器 | PT R70 000 |
USB RS-485转换器 | PM 061 207 -T |
Y 型连接器,屏蔽式,M12,用于附件 | P 4723 013 |
文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
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数据表 | ZH | 2022-05-17 | ~ 446.9 KB |
文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
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操作手册 | ZH | 2022-01-04 | ~ 7.9 MB | ||
操作说明 | ZH | 2020-11-04 | ~ 3.2 MB |
T | +1 (800) 248-8254 |
F | +1 (888) 658-7983 |