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PM P06 237
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配备了 TC 1200、E74、DN 200 ISO-F 的 HiPace® 1800 UC,腐蚀性
订单号: PM P06 237

0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
CF4的压缩比 > 1 · 108
CF4的抽气速度 1050 l/s
I/O 接口 E74, RS-485
不含气镇装置的最终压力 1 · 10-7 百帕
允许的最高径向磁场 7 mT
冷却水接口 G 1/4”
冷却水流量 100 l/h
冷却水温度 15 – 35 摄氏度
冷却类型
启动时间 4 分
声压水平 ≤50 分贝 (A)
安装方向 90° – 180°(高真空法兰底部)
放气接口 G 1/8"
最大冷却水流量 100 l/h
最大耗电量 1350 伏安
最大转速下的CF4气流量 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
最小冷却水流量 100 l/h
最终转速下的氢气流量 > 50 hPa l/s | > 37.5 Torr l/s | > 50 mbar l/s
最终转速下的氮气流量 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s
根据 PNEUROP 的最终压力 < 1 · 10-7 百帕
氢气抽气速度 1700 l/s
氢气的压缩比 2 · 104
氦气在最终转速下的气流量 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s
氦气的压缩比 3 · 105
氦气的抽气速率 1650 l/s
氩气在最终转速下的气流量 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
氩气抽气速率 1370 l/s
氩气的压缩比 > 1 · 108
氮气的压缩比 > 1 · 108
用于氮气的抽气速度 1450 l/s
电子驱动单元 TC 1200
电流最大值 10 A
腐蚀性气体型
认证 兼容 Semi S2
UL
CSA
TÜV
转速 ± 2 % 31,500 rpm | 31,500 min-1
转速可变化 50 – 100 %
轴承 混合
连接法兰(入口) DN 200 ISO-F
连接法兰(出口) DN 40 ISO-KF
适用于氮气的前级真空最大值 1.8 百帕
适用于电子驱动单元 TC 1200
重量 37.8 千克
防护等级 IP54
集成电源包

尺寸-TIM-RS

曲线-TIM-RS-1

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