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PM P06 332
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配备了 TC 1200 的 HiPace® 2300 UC，DN 250 CF-F，腐蚀性
订单号: PM P06 332

0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s
0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
CF4的压缩比 > 1 · 108
CF4的抽气速度 1480 l/s
I/O 接口 RS-485, 远程
允许的最高径向磁场 7 mT
冷却水接口 G 1/4”
冷却水流量 100 l/h
冷却水温度 15 – 35 摄氏度
冷却类型 水
启动时间 4 分
声压水平 ≤50 分贝 (A)
安装方向 90° – 180°（高真空法兰底部）
放气接口 G 1/8"
最大冷却水流量 100 l/h
最大耗电量 1350 伏安
最大转速下的CF4气流量 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
最小冷却水流量 100 l/h
最终压力 < 5 · 10-10 百帕
最终转速下的氢气流量 > 30 hPa l/s | > 22.5 Torr l/s | > 30 mbar l/s
最终转速下的氮气流量 11 hPa l/s | 8.25 Torr l/s | 11 mbar l/s
氢气抽气速度 1850 l/s
氢气的压缩比 2 · 104
氦气在最终转速下的气流量 10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s
氦气的压缩比 3 · 105
氦气的抽气速率 2000 l/s
氩气在最终转速下的气流量 8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s
氩气抽气速率 1800 l/s
氩气的压缩比 > 1 · 108
氮气的压缩比 > 1 · 108
用于氮气的抽气速度 1900 l/s
电子驱动单元 TC 1200
电流最大值 10 A
腐蚀性气体型 是
认证 UL
兼容 Semi S2
TÜV
CSA
转速 ± 2 % 31,500 rpm | 31,500 min-1
转速可变化 50 – 100 %
轴承 混合
连接法兰（入口） DN 250 CF-F
连接法兰（出口） DN 40 ISO-KF
适用于氮气的前级真空最大值 1.8 百帕
适用于电子驱动单元 TC 1200
重量 51.8 千克
防护等级 IP54
集成电源包 是

尺寸-TIM-RS

曲线-TIM-RS-1

文件名 类型 语言 日期 文件大小
数据表 PDF ZH 2022-08-11 ~ 529.6 KB
文件名 类型 语言 日期 文件大小
操作手册 PDF ZH 2022-01-04 ~ 8.7 MB
操作说明 PDF ZH 2020-11-04 ~ 3.2 MB
软件 TurboViewer (Version 010400) ZIP ZH 2018-06-28 ~ 29.9 MB
软件 LabView Driver (Pfeiffer Vacuum) ZIP ZH 2021-09-20 ~ 2.4 MB
Your local contact
Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

T  +1 (800) 248-8254
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